Puslaidininkinių medžiagų mikrostruktūrų analizė ir įvertinimas
Paslaugos įvadas
Nuolat tobulinant didelio masto integrinius grandynus, lustų gamybos procesas darosi vis sudėtingesnis, o nenormali puslaidininkinių medžiagų mikrostruktūra ir sudėtis trukdo gerinti lustų išeigą, o tai kelia didelių iššūkių diegiant naujus puslaidininkinius ir integruotus. grandinės technologijos.
GRGTEST teikia išsamią puslaidininkinių medžiagų mikrostruktūros analizę ir įvertinimą, kad padėtų klientams tobulinti puslaidininkių ir integrinių grandynų procesus, įskaitant plokštelių lygio profilio paruošimą ir elektroninę analizę, išsamią su puslaidininkių gamyba susijusių medžiagų fizikinių ir cheminių savybių analizę, puslaidininkinių medžiagų teršalų analizės formulavimą ir įgyvendinimą. programa.
Paslaugos apimtis
Puslaidininkinės medžiagos, organinės mažų molekulių medžiagos, polimerinės medžiagos, organinės/neorganinės hibridinės medžiagos, neorganinės nemetalinės medžiagos
Paslaugų programa
1. Lusto plokštelės lygio profilio paruošimas ir elektroninė analizė, pagrįsta fokusuoto jonų pluošto technologija (DB-FIB), tiksliu vietinės lusto srities iškirpimu ir realiu laiku elektroniniu vaizdavimu, gali gauti lusto profilio struktūrą, sudėtį ir kt. svarbi proceso informacija;
2. Visapusiška puslaidininkių gamybos medžiagų fizikinių ir cheminių savybių analizė, įskaitant organines polimerines medžiagas, mažų molekulių medžiagas, neorganinių nemetalinių medžiagų sudėties analizę, molekulinės struktūros analizę ir kt.;
3. Puslaidininkinių medžiagų teršalų analizės plano sudarymas ir įgyvendinimas.Tai gali padėti klientams visiškai suprasti fizines ir chemines teršalų savybes, įskaitant: cheminės sudėties analizę, komponentų turinio analizę, molekulinės struktūros analizę ir kitas fizines bei chemines charakteristikas.
Paslaugos prekės
| Aptarnavimastipo | Aptarnavimasdaiktų |
| Puslaidininkinių medžiagų elementinės sudėties analizė | l EDS elementų analizė, l Rentgeno fotoelektroninės spektroskopijos (XPS) elementų analizė |
| Puslaidininkinių medžiagų molekulinės struktūros analizė | l FT-IR infraraudonųjų spindulių spektro analizė, l rentgeno spindulių difrakcijos (XRD) spektroskopinė analizė, l Branduolinio magnetinio rezonanso pop analizė (H1BMR, C13BMR) |
| Puslaidininkinių medžiagų mikrostruktūrų analizė | l Dvigubo fokusavimo jonų pluošto (DBFIB) pjūvio analizė, l Mikroskopinei morfologijai matuoti ir stebėti buvo naudojama lauko emisijos skenavimo elektronų mikroskopija (FESEM), l Atominės jėgos mikroskopija (AFM) paviršiaus morfologijos stebėjimui |
